Přístrojové vybavení - Centrum energetických a environmentálních technologií VŠB-TUO

Skenovací transmisní elektronový mikroskop

Skenovací elektronový mikroskop umožňuje při využití požadované detekce (pomocí sekundárních elektronů, zpětně odražených elektronů nebo pomocí skenovací transmisní elektronové mikroskopie) snímat a generovat informace z povrchů vodivých a nevodivých materiálů včetně chemické analýzy pomocí energiově disperzního spektrometru. Kombinací skenovacího elektronového mikroskopu a mikroskopie etomových sil s využitím unikátní zobrazovací techniky “Correlative Probe and Electron Microscopy“ systém umožňuje simultánně charakterizovat povrchy zkoumaných vzorků a získat tak informace o jejich topografii.

Nanospider

Nanospider je moderní technologické zařízení pro tvorbu kvalitního nanovlákenného materiálu. Nanovrstvy a nanovlákna jsou připravovány metodou elektrostatického zvlákňování hladiny roztoku polymeru nebo taveniny. Pro tvorbu vláken se používá rotující válec, který je z části ponořen do roztoku polymeru. Válec se otáčí kolem své osy a zároveň se na jeho povrchu vytváří tenká vrstvička roztoku polymeru. V horní části rotačního pohybu válce, místa s nejmenší vzdáleností od kolektoru, se díky maximální intenzitě elektrického pole utvoří četná ohniska Taylorových kuželů, která následně vedou k procesu zvlákňování na horní části válce. Síť vláken po dopadu na kolektor nebo nosnou fólii po odpaření rozpouštědel ztuhne a vytváří pevné struktury.

Litografie a depozice tenkých vrstev

Optický litograf umožňuje přímý zápis navrhované struktury s rozlišením až 300 nm a celkovou velikostí zapisovaného motivu až 10x10 cm. Po zápisu, je fotorezist vyvolán a může být pokryt tenkou vrstvičkou (v řádech jednotek či desítek nanometrů) v reaktoru depozice tenkých vrstev. Tento systém umožňuje naprašovaní tenkých kovových a dielektrických vrstev. Pro speciální aplikace a materiály je možné připravit tenké vrstvy kovů termální evaporací. Předností je možnost depozice až 4 různých materiálů během jednoho procesu, a to i s využitím depozice v reaktivní, atmosféře (kyslík, dusík). Depoziční aparaturu je možné osadit spektroskopickým elipsometrem a monitorovat a kontrolovat tak růstové procesy v reálném čase.